此碑存三十五行，残存每行二十三、四、五字不等，中空三行，现存于陕西省博物馆碑林。碑身两侧浮雕阴文花朵，一凤立于花叶，叶两边各立一人。下一佛骑兽也立于花叶。左侧佛向后，右侧向前，刻艺精湛。
杨震方先生在《碑帖叙录》中以为，碑残字中“公讳文”上一字作“吴”字，有称《吴文断碑》者。但非“吴”字，以文法论，上句末当为“矣”字，因此称《吴文碑》不正确。然此说相延已久，以至于马子云和施安昌先生所著的《碑帖鉴定》一书也称其为《镇国大将军吴文碑》。
此碑于明万历间发现后就有传拓，是谓初拓。初拓第廿行“四序”之“四”字完好。清初拓本，“四”字损而可辨。以后其中二笔与右半已损连，又二十五行“瘗将军于地下”之“军于”二字笔道未损。方药雨先生在《校碑随笔》中认为旧拓八行，“断裁”之“断”字、“斤”部未损。亦云：廿七行“及厌麈滓”之，“及”字应是“乃”字，出土初拓本尚未泐成“及”字。可见对此碑拓本鉴定之方法，各家并不相同。
《兴福寺半截碑》行气流畅，摹刻精良，为研习王羲之书法之重要碑刻。清代杨宾谓唐代集王书者有十八家，推《圣教》为第一，《兴福寺》仅次于《圣教》。安世凤在《墨林快事》中称“大雅乃兴福寺僧，故世谓之《兴福帖》，其集王字，顾独得其精神筋力，俨如生动，不比怀仁，只得其形模，并其古澹之趣而已，是以书家重之。”杨震方先生对其赞赏有加，“《集字圣教序》，时代离王羲之不远。碑字亦低劣，但由和谐而书，自有其优越兴福寺半截碑之处。又因在结体上亦有优点，故很难定其优劣。愚以为兴福寺选字摹刻虽不及圣教，但结字和字与字之间的映带关系似可胜出。
因其在书法史上的重要性，该碑屡经翻刻或出版，解放前文明书局、日本博文堂、骎骎堂《书苑》七卷十二期影印者，皆翁方纲跋本，惜有描填。艺苑其赏社珂版和爱俪园珂版影印者均为稍旧拓本。日本二玄社也将稍旧拓本辑入《书迹名品丛刊》中。上海书画出版社亦于2000年将此碑出版。
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